ZEISS蔡司X射线显微镜的新型成像解决方案详解

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ZEISS蔡司X射线显微镜的新型成像解决方案详解

ZEISS蔡司Xradia 600 VersaX射线显微镜系列是新一代3D XRM,能够在完整的已封装半导体器件中对已定位的缺陷进行无损成像。在结构化分析和失效分析应用中,新型解决方案在制程开发、良率提升和工艺分析等方面表现出色。Xradia 600 Versa系列以屡获殊荣且具有大工作距离高分辨率(RAAD)特性的Versa X射线显微镜为基础,提供优异的成像性能,实现大工作距离下的大样品的高分辨率成像,用于为封装、电路板和300毫米晶圆生产确定产生缺陷与故障的原因。利用该解决方案,可以轻松看到与封装级故障相关的缺陷,例如凸块或微型凸块中的裂纹、焊料润湿或硅通孔(TSV)空隙。在进行物理失效分析之前对缺陷进行3D可视化处理,有助于减少伪影,提供横纵方向的虚拟切片效果,从而提高失效分析成功率。新型解决方案的主要特性包括:

最高空间分辨率0.5微米,最小体素40纳米
与Xradia 500 Versa系列相比, 工作效率提高了两倍,且在保证高分辨率的同时,在整个kV(电压)和功率范围内保持出色的X射线源焦点尺寸稳定性与热稳定性
更加简便易用,包括快速激活源
可靠性测试中可实现多个位点连续成像,并能观察封装结构内部亚微米结构变化

ZEISS蔡司Xradia 800 UltraX射线显微镜将3D XRM提升至纳米级尺度,并在纳米尺寸下探索隐藏的特性,获得高空间分辨率图像的同时保持感兴趣区域的结构完整性。其应用包括超密间距覆晶与凸块连接的工艺分析、结构分析和缺陷分析,从而改进超密间距封装与后段制程(BEOL)互连的工艺改进。Xradia 800 Ultra能够对密间距铜柱微凸块中的金属间化合物所消耗焊料的结构和体积进行可视化。在成像过程中保留缺陷部位,有助于采用其他技术进行针对性的后期分析。还可以利用3D图像来表征盲孔组件(blind assemblies)的结构质量,例如晶圆对晶圆键合互连与直接混合键合等。该解决方案的主要特性包括:
空间分辨率150纳米与50纳米(需要制备样品)
选配皮秒激光样品制备工具,能够在一小时内提取完整体积(结构)样品(通常直径为100微米)
兼容多种后续分析方法,包括透射电子显微镜(TEM)、能量色散X射线谱(EDS)、原子力显微镜(AFM)、二次离子质谱(SIMS)和纳米探针

ZEISS蔡司Xradia Context microCTX射线显微镜是一种基于Versa平台的新型亚微米分辨率3D X射线microCT系统。该解决方案用于封装产品在小工作距离和高通量下进行高分辨率成像。主要特性包括:
在大视场下提供大样品的全视场成像(体积比Xradia Versa XRM系统大10倍)
小像素尺寸的高像素密度探测器(六百万像素)即使在观察视野较大的情况下也能确保较高分辨率
X射线microCT拥有空间分辨率0.95微米,最小体素0.5微米
出色的图像质量与衬度

可升级为Xradia Versa,实现RaaD功能,对完整大样品进行高分辨率成像

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